工业废气处理哪家强?

工业废气处理哪家强?工业废气处理指的是专门针对工业场所如工厂、车间产生的废气在对外排放前进行预处理，以达到废气对外排放的标准的工作。而工业废气处理哪家强?成了工厂老板最想知道的问题答案。

工厂安装气体处理有三个主要原因：

首先是健康和，许多使用的工艺气体是易燃或爆炸性的，如H 2或SiH 4，而其他毒物如COF 2 ，HBr，F 2等，在接触人类或动物之前进行。

个原因是许多使用的气体对于环境是危险的，如CF 4 ，其寿命约为 50,000年的气氛，变暖潜力为二氧化碳的6.500倍。

气体减排的第三个原因是大量废气在气流中含有大量颗粒或灰尘。 例如，这种灰尘通常在基于硅烷(SiH 4 )的沉积过程中产生，反应的硅烷产生作为废物的非常细的粉尘的二氧化硅。这种灰尘有可能破坏设备排气，导致制造厂的意外停机。 使粉尘难以处理的是粒径通常为亚微米，并且容易通过湿式洗涤器或物理过滤器而不被捕获在洗涤液体中。

因此，提供减排是制造设施的重要组成部分。典型的气体处理工具位于子晶圆厂中，放置在真空泵之后。 使用中几乎没有大气工艺，基于真空的工艺占绝大多数。 实践安装导致减排工具工具尽可能靠近泵。 反过来，泵也尽可能靠近加工工具放置。

这个概念被称为使用点(PoU)，在行业是典型的。 与真空泵的物理接近产生了几个优点，两种工具之间的较短的气体管路具有更少的机会泄漏和节省成本的潜力，因为一些工艺需要加热该管线以避免废气管线内的冷凝。

废气处理工具的基本概念是相同的，尽管有几种不同的技术可用。大多数工具在处理废气流中使用两个阶段，然而根据工艺气体，一个阶段可能不够充分，无论是干燃烧器还是湿式洗涤器。 在两级系统中，废气被热分解成其组成元素，在洗涤器中洗涤之前被氧化以形成稳定的产物以除去任何酸性组分。第 一阶段的分解可以通过几种不同的技术，如“燃烧”，“热”和“等离子体”进行。 两次使用电力作为能源，而燃烧技术则使用气，液化石油气或氢气作为燃料来源。

洗涤器的功能是将剩余的气体转移到洗涤液中，从而可以更容易地处理洗涤液。通常，碱液用于在系统内中和洗涤液体，这通常导致较低的耗水量和消耗品的使用。 强酸性洗涤液对内部组件的寿命和工具的COO有很大的影响。